HDI · BLIND & BURIED VIAS

HDI基板・ブラインド/埋め込みビア基板

レーザーブラインドビア、機械埋め込みビア、ビアインパッドにより高密度配線を実現し、アクセラレーターカード、光モジュール、小型端末に配線スペースを解放します。1+N+1 / 2+N+2 / 3+N+3の積層構造とスタッガー/スタックビアの組み合わせに対応し、1~3階層構造を安定量産。エニレイヤIVH(ELIC)やより高階層の構造はプロジェクトごとの工程評価で対応し、高IO密度・短配線経路の設計需要に応えます。

レーザーブラインドビア最小0.10mm(アスペクト比≤1:1)、スタックビア位置精度±0.05mm、HDI線幅/間隔2/2mil(LDI露光)。1+N+1~3+N+3は安定量産、エニレイヤーとクロスステップは案件ごとに工程審査します。

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品種と仕様

詳細な工法パラメータと技術的特長
能力項目仕様範囲
HDI階数1~3階層
レーザーブラインドビアの最小穴径0.10 mm
機械ドリルの最小穴径0.15 mm
最小線幅/間隔2 / 2 mil
基板厚範囲0.4 – 3.0 mm
穴タイプスルーホール/ブラインド/埋め込み/ビアインパッド/スタックビア
穴充填方式レジン塞ぎ/電解充填(POFV)
層間位置合わせ精度±0.05 mm
レーザードリル方式CO2レーザー(ブラインドビアのアスペクト比 ≤ 1:1)
ブラインドビアのランド(片側)標準 4 mil(極限 2 mil)
穴銅厚25 – 50 μm(要望に応じて厚付け可)
表面処理対応ENIG / ENEPIG / 銀置換 / スズ置換 / OSP
✓技術特長
  • 成熟したブラインド/埋め込みビアプロセスとスタック構造
  • ビアインパッド(POFV)でBGA領域の配線を解放
  • ファインパターン2/2mil、高密度配線に対応
  • レーザードリルとレジン塞ぎプロセスが安定
  • CO2レーザードリルとLDI(レーザー直接描画)により2/2milファインパターンの歩留まりを確保
  • ENEPIG(ニッケルパラジウム金めっき)でファインピッチBGAやワイヤーボンディングに対応
  • ハーフホールとメタライズハーフホールでモジュール式組み立てに対応
AIアクセラレーターカード光モジュールウェアラブル端末IoTモジュール5G通信車載電子
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FAQ

FAQ

量産可能なHDI積層は?

1+N+1、2+N+2、3+N+3(スタッガー/スタックビア)。エニレイヤー(ELIC)とクロスステップは案件審査となります。

レーザービアの最小径は?

CO2レーザーで0.10mm、アスペクト比≤1:1。メカニカルドリルは最小0.15mmです。

ビアインパッドは対応できますか?

対応します。POFVで銅充填・平坦化し、X-rayと断面でロットごとに検証します。

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