
レーザーブラインドビア、機械埋め込みビア、ビアインパッドにより高密度配線を実現し、アクセラレーターカード、光モジュール、小型端末に配線スペースを解放します。1+N+1 / 2+N+2 / 3+N+3の積層構造とスタッガー/スタックビアの組み合わせに対応し、1~3階層構造を安定量産。エニレイヤIVH(ELIC)やより高階層の構造はプロジェクトごとの工程評価で対応し、高IO密度・短配線経路の設計需要に応えます。
レーザーブラインドビア最小0.10mm(アスペクト比≤1:1)、スタックビア位置精度±0.05mm、HDI線幅/間隔2/2mil(LDI露光)。1+N+1~3+N+3は安定量産、エニレイヤーとクロスステップは案件ごとに工程審査します。


| 能力項目 | 仕様範囲 |
|---|---|
| HDI階数 | 1~3階層 |
| レーザーブラインドビアの最小穴径 | 0.10 mm |
| 機械ドリルの最小穴径 | 0.15 mm |
| 最小線幅/間隔 | 2 / 2 mil |
| 基板厚範囲 | 0.4 – 3.0 mm |
| 穴タイプ | スルーホール/ブラインド/埋め込み/ビアインパッド/スタックビア |
| 穴充填方式 | レジン塞ぎ/電解充填(POFV) |
| 層間位置合わせ精度 | ±0.05 mm |
| レーザードリル方式 | CO2レーザー(ブラインドビアのアスペクト比 ≤ 1:1) |
| ブラインドビアのランド(片側) | 標準 4 mil(極限 2 mil) |
| 穴銅厚 | 25 – 50 μm(要望に応じて厚付け可) |
| 表面処理対応 | ENIG / ENEPIG / 銀置換 / スズ置換 / OSP |
1+N+1、2+N+2、3+N+3(スタッガー/スタックビア)。エニレイヤー(ELIC)とクロスステップは案件審査となります。
CO2レーザーで0.10mm、アスペクト比≤1:1。メカニカルドリルは最小0.15mmです。
対応します。POFVで銅充填・平坦化し、X-rayと断面でロットごとに検証します。